,只能开口道:“我们公司还有一个专利,是关于石英坩埚涂层的。众所周知,由于单晶炉的高温作用,以及多晶硅融化以后,对石英坩埚的侵蚀作用,一个石英坩埚只能使用几次。假如石英坩埚的质量较差,一两次便需更换石英坩埚也屡见不鲜。”
众人点头。
更换石英坩埚是一件很痛苦的事情,它需要将单晶炉彻底拆开,取出坩埚,然后重新装上新的,每更换一次单晶炉都要停止运行十天左右。步骤麻烦不说,多次更换,还容易对单晶炉的其他部件造成损毁,严重影响单晶炉的使用效率,并直接缩短使用寿命。
难道这个坩埚涂层就是解决这个的?
他们凝神屏息。
郭逸铭看着他们专心聆听的架势,不觉有种荒谬之感,稳定了一下情绪才接着说道:“这种溶液采用喷涂法,均匀涂在石英坩埚内部,可以有效隔热耐腐。根据计算,使用了这种涂液,只要在每次制备完成,用专用药水进行正确清洗,一只石英坩埚可以连续使用三十次以上……”
三十次!
三位老科学家再次震撼不已。
如果真有他说的这样效果显著,那石英坩埚就从消耗品,变成了易损件。一个石英坩埚也要几千块钱,而且高品质石英坩埚制造困难,难以大批量生产,对硅晶棒制备的推广,也构成了至关重要的阻碍。一种隔热耐侵蚀涂料,就可以让他们之前头痛的问题,得到解决,对半导体发展来说,其价值一点也不比热屏小。
这还不止,停炉更换的时间减少了,单晶炉的效率就直线上升。三十次,每炉的制备时间三天,那一个单晶炉便可以连续运行三个月,才进行一次更换大修。
太恐怖了!
他们用疑惑的眼神看过去。
郭逸铭心中撇了撇嘴,感慨时代不同,对于技术的期待也相差迥异。在后世,一只坩埚用几年,这只是小厂采用的落后技术。在大型电子企业,使用了更精密冶炼技术制造的坩埚,用到单晶炉报废,最多也只需要更换两三次坩埚。
三十次算什么,配方略作改进,连续运行一两百炉,也是寻常。
这就是时代造成的技术落差啊!
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